08 Stazione Maseveon + Unità di degasaggio LC

Masevon Station Chamber Up-Down + + LC Degassing Unit

1. Introduzione:
1. Il presente documento descrive i requisiti funzionali riguardanti a;
1.1. Camera di degasaggio a vassoio LC
1.2. La camera di degasaggio del vassoio LC è una (camera a vuoto controllata) in cui
un vassoio di alluminio contenente liquido LC viene degassato sotto vuoto
ambiente durante un periodo di tempo (ad esempio l'aria intrappolata viene evacuata)
Profilo del vuoto;
1.1. Punti di regolazione della pressione regolabili tra 1,103 e 1,10-3 mBar
1.1.1. Campo di misura: 1.103 – 5.10-4
1.2. Punti di regolazione del tempo regolabili tra 1 e 600 minuti per passo
1.2.1. La fase di degasaggio (D) può durare da minuti a giorni
1.3. I tassi di evacuazione e ventilazione devono essere controllabili
1.4. Il ciclo di evacuazione (A – D) viene eseguito automaticamente
1.4.1. Il gradino di sfiato (E) deve essere attivato manualmente (operatore)
1.5. Profilo di degasaggio tipico
2. Interno;
Dodpfx Acjwam Saj Aswc
2.1.Camera di processo lucidata in acciaio inossidabile (alluminio) (interno)
2.1.1. Tasso di perdita da discutere
2.2. Cassetto (adattamento) del vassoio LC per scaricare (scaricare) facilmente il vassoio LC (senza urti/scosse)
movimento consentito), vedere Sezione 2 Dimensioni vassoio LC e appendice 1
2.3. Il vassoio LC deve essere sempre livellato (waterpas) per evitare fuoriuscite di LC
2.4.La camera deve essere facilmente/rapidamente accessibile per la pulizia e/o il vassoio LC
(scarico
2.5. L'interno della camera deve essere lucidato per una facile pulizia e prevenzione di
contaminazione e/o accumulo di umidità
2.6. Possibilità di monitoraggio (finestra) del ciclo di degasaggio, ovvero monitoraggio LC
comportamento della superficie liquida nel vassoio LC
2.7. Nessuna contaminazione del processo causata dal materiale della camera (-produzione)

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