Sputtering roll-to-roll

Bobst Group SA Roll-To-Roll Sputtering

Sistema di sputtering GVE/Optilab: sistema roll-to-roll per la deposizione di strati ultrasottili (nell'ordine dei nanometri). Il sistema è in grado di depositare materiali diversi (metalli, strati conduttivi trasparenti) su materiale filmico. È dotato di più catodi sputtering, cioè è possibile depositare contemporaneamente più strati sottili.

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GVE, Bobst Ltd, Optilab, 2010, Strumento di sputtering roll-to-roll sotto vuoto con 3 camere di deposizione per 2 catodi ciascuna; Completo di: - larghezza nastro 520 mm, avvolgimento bidirezionale con funzione di interfilatura e de-interlacciatura. Pompaggio turbomolecolare (mag lev) in tutte le zone. Raffreddatore a tamburo, unità di riscaldamento (da -20 a +200 °C). 1100 unità polycold con bobine criogeniche in ogni zona di sputtering e nella zona di avvolgimento. Un'unità al plasma a media frequenza GVE AC. Un sistema di monitoraggio della resistenza post-rivestimento. (Misurazione della resistenza sulla linea centrale del web). Un sistema touch screen Siemens WIN CC per il controllo della macchina e il sistema di monitoraggio. Zona di riscaldamento I/R (3 unità di riscaldamento). Sistema di polarizzazione del Web (PSU ecc.). 1 gen mag c/w 2 x 20 kw cc pulsata. 1 magnete doppio con 2 x 10 kW di corrente continua pulsata (con anodo nascosto). MFC ecc. 1 sistema di controllo sputtering PEM completamente integrato. Prezzo originale Euro 1.450.000.-

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