Sistema di misura

Alicona InfiniteFocusXL200 G5

Alicona InfiniteFocusXL200 G5 sistema di misurazione

Volume di posizionamento: 200 mm × 200 mm × 200 mm
Peso massimo del pezzo: 30 kg
Ingrandimenti degli obiettivi: 2,5x 5x 10xHX 10x 20xHX 20x 50x 100x
Apertura numerica: 0,075–0,8
Distanza di lavoro: 4,5–37 mm
Campo di misura laterale: da 5,63 mm a 0,16 mm
Risoluzione verticale: da 2300 nm a 10 nm
Rumore di misura: da 800 nm a 1 nm
Campo di misura verticale: 8–36 mm
Velocità di misurazione: fino a 1,7 milioni di punti di misura/s
Rugosità Ra minima misurabile: da 7 µm a 0,03 µm
Chjdpfx Absx Dxw Tsvsf
Rugosità Sa minima misurabile: da 3,5 µm a 0,015 µm
Altezza minima misurabile: da 2,3 µm a 0,01 µm
Superficie massima misurabile: fino a 40.000 mm²
Precisione di planarità: 0,1 µm (obiettivo 10x)

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