Alcatel Adixen AD100K vuoto elevato

Alcatel Adixen AD100K AD30K 600-4500 m3/h.

Pompa a secco Adixen AD30K, alto vuoto
Le nuove potenti pompe a secco:
La serie ADH è stata progettata appositamente per i processi
sviluppata per gli esigenti processi dei mercati dei semiconduttori e dei LED,
Con una velocità di pompaggio di 600-4500 m3/h.

Semiconduttori: elevata velocità di pompaggio di H2
Le prestazioni della serie ADH apportano i seguenti vantaggi al processo:
-Prestazioni del processo ADL: elevata efficienza di pompaggio dei gas leggeri.
Consente uno svuotamento più rapido della camera tra le fasi del processo
- Epitassia e EUV: alta velocità di pompaggio e alta portata
La tolleranza soddisfa le specifiche di processo più esigenti


Pompa a secco Adixen AD30K, alto vuoto, AD 30 KL
Costruttore: Alcatel Adixen
Tipo: AD30K.H
Anno di produzione: 2008

Adixen AD100K.H
Produttore: Alcatel Adixen
Csdpfx Aeikq Tyeb Dsrh
Tipo: AD100K.H
Anno di produzione: 2008

Pompa per vuoto:
Costruttore: AERZEN
Tipo: GM 2000 CM-C
Velocità: 6000 rpm
Tensione: 200-460 V
Frequenza (olio minerale/olio PFPE): 100 c/s
Capacità di aspirazione massima: 4035 m3/h
Velocità massima: 5920 rpm
Potenza del motore S 1 / S 6: 9/5,6 kW
Anno di costruzione: 2008
Peso: 345 kg

Pompa a secco:
Costruttore: Adixen
Tipo: BF ADP122
Anno di fabbricazione: 2008
Potenza: 1,5 kW
Capacità massima di aspirazione: 95 m3/h
Pressione massima continua in ingresso: 50 mbar
Sovrappressione massima dei gas di scarico: 1200 mbar
Acqua di raffreddamento: 60 l/h
Velocità (pompa): 3000-3600 rpm
Temperatura di funzionamento della pompa: da 5 °C a 40 °C
Flangia di ingresso: DN 50 ISO-KF
Flangia di scarico: DN 40

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